产品名称:标准气体稀释装置
型号:ZX-QXS-2000P
备注:
★ 输出流量:0-2000SCCM(ml/min)
★ 质量流量控制器准确度:≤±1%
★ 质量流量控制器重复精度: ±0.2%
★ 响应时间:≤1 sec
★ 耐压: 1MPa,3MPa
★ 漏气率: 1×10-9SCCSHe
★ 通道材料: 316L 不锈钢
★ 进出气口连接气嘴:Φ6/不锈钢穿板卡套
★ 进出气连接管道:Φ6/PU 或特氟龙管
★ 静密封材料: 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶)
★ 动密封材料:氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯)
★ 预热时间:<10min
★ 工作环境温度:5℃~45℃
★ 供电:220VAC 50Hz
★ 外形尺寸:深560mm×宽490mm×高215mm
★ 配气稀释比:可选 1000:1、500:1、200:1、100:1
★ 通道:≤4
★仪器重量:11.5Kg;
外形图: